О голографическом методе получения множества идентичных изображений высокого качества по схеме осевого мультиплицирования

Проведен теоретический расчет схемы осевого мультиплицирования и сформулированы некоторые требования к оптическим элементам таких схем. Качество получаемого изображения оценивается применительно к требованиям технологических процессов производства интегральных схем. Приводятся экспериментальные результаты по получению мультиплицированных изображений рисунков интегральных схем.