Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова
Аннотация:
Развита новая модификация метода когерентной эллипсометрии комбинационного рассеяния, допускающая автоматизированную запись спектров. Экспериментально показано, что при исследовании с помощью этой методики сложных комбинационных полос, состоящих из нескольких наложившихся друг на друга
линий, путем выбора надлежащих поляризационных условий удается изменять условия интерференции составляющих спектра и тем самым в некоторых пределах изменять их относительное расположение. В результате может быть минимизирована ошибка определения параметров составляющих спектра.
УДК:
621.373.826
PACS:
07.65.-b, 07.60.Fs, 06.70.Hs
Поступила в редакцию: 14.05.1981 Исправленный вариант: 29.09.1981