RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1988, том 15, номер 10, страницы 2065–2070 (Mi qe12485)

Элементы лазеров и среды

Когерентно-оптическая система с синтезированной апертурой для контроля геометрических параметров объекта

Л. И. Жмурова, В. Н. Куликов, А. Н. Малов

Куйбышевский филиал физического института им. П. Н. Лебедева АН СССР

Аннотация: Рассмотрены оптические системы с разрешающей способностью, превышающей дифракционный предел, на основе оптического синтеза апертуры посредством введения в предметное пространство мультиплицирующего оптического элемента, например дифракционной решетки, при дифракции на котором луч света, соответствующий пространственной частоте спектра предмета, лежащей вне пределов апертуры, отклоняется таким образом, что попадает в апертуру. Анализируется использование сверхразрешающих систем с оптическим синтезом апертуры в промышленности для измерения линейных размеров и перемещений. Показана возможность контроля локального микрорельефа поверхности по степени и виду искажения изображения точечного объекта.

УДК: 621.373.826.815:531.717

PACS: 42.79.Ag, 42.79.Dj, 42.25.Kb, 42.25.Fx, 06.30.Bp

Поступила в редакцию: 24.07.1987


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1988, 18:10, 1295–1298

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024