Формирование тонких пленок при прямом и обратном переносе аблированных частиц в результате воздействия фемтосекундным лазерным излучением на пенографит в атмосфере азота
Аннотация:
Впервые проведены сравнительные исследования формирования углеродных пленок методами прямого и обратного лазерного напыления в атмосфере азота с использованием импульсов фемтосекундной длительности. Обнаружено, что поверхность пленки обратного напыления практически свободна от микрочастиц, в изобилии покрывающих поверхность пленки прямого напыления. Измерена зависимость параметра шероховатости поверхностей пленок от радиуса – расстояния до центра области напыления. Показано, что шероховатость поверхности пленки на коллекторе обратного сбора меньше шероховатости пленки, образованной на коллекторе прямого сбора. Определены скорости абляции пенографита, а также объемы выносимого и напыляемого за выстрел материала.
PACS:81.15.-z, 79.20.Ds, 42.65.Re
Поступила в редакцию: 05.07.2006 Исправленный вариант: 26.09.2006