Разрушения поверхности кремния в твердой фазе при воздействии импульсов YAG:Nd-лазера

Исследовано твердофазное разрушение поверхности кремния при воздействии импульсов YAG:Nd-лазера. Результаты измерений позволяют предположить, что при воздействии на поверхность кремния лазерных импульсов с интенсивностью, близкой к пороговой интенсивности I_melt, при которой начинается плавление поверхности, происходит эмиссия частиц, которая, как нам представляется, связана с образованием микротрещин на поверхности в результате конденсации неравновесных дефектов под действием упругих напряжений.