А. П. Большаков, В. И. Конов, В. Г. Востриков, В. Ю. Дубровский, Ф. К. Косырев, В. Г. Наумов, Л. В. Шачкин, “Исследование плазмы оптического разряда в многокомпонентных смесях молекулярных газов”, Квантовая электроника, 38:2 (2008), 165

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Исследование плазмы оптического разряда в многокомпонентных смесях молекулярных газов

А. П. Большаков^a, В. И. Конов^a, В. Г. Востриков^b, В. Ю. Дубровский^b, Ф. К. Косырев^b, В. Г. Наумов^b, Л. В. Шачкин^b

^a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, г. Москва
^b ФГУП «ГНЦ РФ — Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований»

Аннотация: На базе непрерывного СО₂-лазера мощностью до 5 кВт создан плазмотрон атмосферного давления для газофазного синтеза алмазных пленок. Определены условия существования лазерной плазмы в молекулярных газовых смесях. Измерены минимальные значения мощности излучения, необходимой для поддержания непрерывного оптического разряда (НОР) при различных концентрациях компонентов газовых смесей Ar — CH₄ — H₂ и скоростях потока. Исследованы спектры излучения плазмы НОР в чистом Ar и в рабочей смеси Ar — H₂ — CH₄ вдоль и поперек направления распространения плазменной струи. В спектре периферийной области плазмы, отличающейся характерным свечением зеленого цвета, обнаружены интенсивные линии радикала С₂, ответственного, по нашему мнению, за формирование поликристаллических алмазных пленок.

PACS: 52.50.Jm, 52.77.Dq, 81.05.Uw

Поступила в редакцию: 20.04.2007
Исправленный вариант: 08.08.2007