Оптимизация технологии изготовления канальных протонообменных волноводов в кристаллах ниобата лития

Экспериментально исследовано влияние технологических параметров на профиль волноводной моды в канальных волноводах в кристаллах ниобата лития, изготовленных методом низкотемпературного протонно-ионного обмена. Разработана теоретическая модель процесса формирования волновода, с использованием которой проведен численный расчет профиля волноводной моды для различных технологических параметров. Определены технологические параметры низкотемпературного протонного обмена, обеспечивающие высокие электрооптические характеристики волноводов и устойчивость к погрешностям изготовления. Полученные результаты могут быть использованы для оптимизации характеристик интегрально-оптических устройств и оптимизации их стыковки с различными типами волоконных световодов.