Т. Т. Басиев, А. Я. Карасик, В. В. Осико, А. Г. Папашвили, Д. С. Чунаев, А. В. Гаврилов, М. Н. Ершков, С. Н. Сметанин, С. А. Солохин, А. В. Федин, В. Н. Колокольцев, В. М. Лазоренко, В. И. Товтин, “Технологии перфорации близкорасположенных микронных отверстий с использованием неодимовых LiF:F2--лазеров”, Квантовая электроника, 39:4 (2009), 385

Эта публикация цитируется в 1 статье

Лазерные технологии

Технологии перфорации близкорасположенных микронных отверстий с использованием неодимовых LiF:F₂^--лазеров

Т. Т. Басиев^a, А. Я. Карасик^a, В. В. Осико^b, А. Г. Папашвили^a, Д. С. Чунаев^a, А. В. Гаврилов^c, М. Н. Ершков^c, С. Н. Сметанин^c, С. А. Солохин^c, А. В. Федин^c, В. Н. Колокольцев^d, В. М. Лазоренко^d, В. И. Товтин^d

^a Научный центр лазерных материалов и технологий, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва
^b Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва
^c Ковровская государственная технологическая академия
^d Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова РАН, г. Москва

Аннотация: Исследованы пикосекундная (на основе кристаллов YLF:Nd — LiF:F₂^-) и наносекундная (YAG:Nd — LiF:F₂^-) лазерные технологии перфорации близкорасположенных микронных отверстий в алюминиевой фольге для микроэлектроники, медицины и биологии. Получены двумерные матрицы отверстий c диаметрами 2 — 20 мкм, находящихся на расстоянии 8 — 30 мкм друг от друга, в алюминиевой фольге толщиной 20 мкм. Показаны возможности увеличения плотности расположения отверстий и уменьшения их диаметра при управлении режимом лазерного воздействия. Получен образец перфорированной алюминиевой фольги, в котором суммарная площадь микронных отверстий составляет более 30% площади поверхности.

PACS: 42.62.Cf, 42.55.Rz

Поступила в редакцию: 02.06.2008
Исправленный вариант: 25.11.2008