Анализ комплексного отклика гетеродинного дифференциального интерферометра на микроступенчатый профиль

Разработан экспресс-метод определения параметров микроступенчатого профиля (высоты и ширины), основанный на сравнении комплексных модельных откликов с экспериментальным. Достигнуто сверхразрешение в определении латеральных параметров объекта при использовании априорной информации о его форме.