К. С. Гочелашвили, М. Е. Земсков, О. Н. Евдокимова, В. Т. Михкельсоо, A. М. Прохоров, “Лазерная спектроскопия продуктов фотоиспарения коротковолновым (λ = 193 нм) эксимерным лазером”, Квантовая электроника, 26:2 (1999), 168

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Лазерная спектроскопия продуктов фотоиспарения коротковолновым (λ = 193 нм) эксимерным лазером

К. С. Гочелашвили^a, М. Е. Земсков^a, О. Н. Евдокимова^a, В. Т. Михкельсоо^b, A. М. Прохоров^c

^a Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
^b Institute of Organic Chemistry, Tartu State University, Estonia
^c Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва

Аннотация: Разработан и создан эксимерный лазерный спектрометр, состояший из высоковакуумной камеры взаимодействия, испаряющего коротковолнового эксимерного АrF-лазера (λ = 193 нм), зондирующего лазера на красителе с накачкой от эксимерного ХеС1-лазера и системы регистрации сигнала лазерно-индуцированной флуоресценции. Исследованы нетепловые механизмы фотоиспарения ряда широкозонных диэлектриков.

PACS: 07.60.Rd, 42.62.Eh, 42.62.Cf

Поступила в редакцию: 06.11.1998