Исследование пространственного разрешения лазерной термохимической технологии записи дифракционных микроструктур

Термохимический метод записи информации, основанный на локальном лазерном окислении тонкой металлической пленки с последующим травлением необлученной области, является альтернативой лазерной фотолитографии и прямому лазерному удалению материала пленки. При таком способе записи отсутствуют термические и гидродинамические искажения рисунка, как в случае лазерной абляции, а количество технологических операций существенно меньше, чем при изготовлении фотошаблонов классическим методом фотолитографии. Основная область применения термохимической технологии — изготовление дифракционных оптических элементов (ДОЭ), которые широко используются в принтерах, аппаратах для чтения штрих-кодов, лазерных CD- и DVD-проигрывателях и т.д. Задача настоящего исследования — увеличение разрешающей способности термохимического способа записи информации на тонких металлических пленках хрома.