А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, Л. В. Селезнев, Д. В. Синицын, Е. В. Голосов, О. А. Голосова, Ю. Р. Колобов, А. Е. Лигачев, “Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 41:9 (2011), 829

Эта публикация цитируется в 19 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество

Формирование квазипериодических нано- и микроструктур на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов

А. А. Ионин^a, С. И. Кудряшов^a, С. В. Макаров^a, Л. В. Селезнев^a, Д. В. Синицын^a, Е. В. Голосов^b, О. А. Голосова^b, Ю. Р. Колобов^b, А. Е. Лигачев^c

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
^b Белгородский государственный университет
^c Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва

Аннотация: С помощью ИК (λ ≈ 744 нм) и УФ (λ ≈ 248 нм) фемтосекундных лазерных импульсов получены квазипериодические нано- и микроструктуры на поверхности кремния. Исследована зависимость топологии структурированной поверхности от плотности энергии падающего излучения и числа импульсов. Определены пороги наноструктурирования кремния для указанных длин волн. Обнаружено явление возникновения модуляции рельефа поверхности на удвоенной пространственной частоте и предложено его качественное объяснение. Проведены сравнительный анализ и обсуждение периодов наноструктур, полученных на поверхности кремния под действием ИК и УФ фемтосекундных лазерных импульсов.

PACS: 81.07.-b, 81.16.-c, 42.65.Re

Поступила в редакцию: 30.12.2010
Исправленный вариант: 29.06.2011