Аннотация:
Исследована возможность увеличения длительности импульса генерации ArF-лазера (длина волны 193 нм) путем применения формирующей искусственной линии с нелинейными дросселями. Описан ArF-лазер (максимальная энергия импульса излучения 15 мДж, длительность лазерных импульсов 18 нс, частота следования импульсов 1 кГц) с полностью твердотельным генератором накачки.