Формирование микрокапилляров в плавленом кварце с помощью аксиконной фокусировки фемтосекундного лазерного излучения и последующего химического травления

Продемонстрировано формирование микрокапилляров диаметром 50 — 80 мкм и длиной до 2.5 мм в плавленом кварце при аксиконной фокусировке фемтосекундного лазерного излучения и последующем химическом травлении в 8 %-ном растворе плавиковой кислоты. Скорость травления составила ~6 мкм/мин. Показано, что микрокапилляры обладают волноведущими свойствами для оптического излучения, что говорит об оптическом качестве стенок полученных структур.