Аннотация:
Исследованы параметры излучения газоразрядного XeCl-лазера и N2-лазера с продольным разрядом накачки и автоматической искровой УФ предыонизацией. Впервые проведена оптимизация параметров излучения XeCl-лазера, работающего при низком давлении (30 Тор), как с буферными газами Ar, Ne, He, так и без буферного газа. Лазер генерировал излучение с длительностью импульсов на полувысоте 5 нс, средней мощностью 0.5 мВт и энергией 0.15 мДж. Для XeCl-лазера с продольным разрядом накачки и буферным газом гелием получена удельная энергия излучения 1.8 Дж·л-1·атм-1, а с аргоном и в смесях без буферного газа она равнялась 1.5 Дж·л-1·атм-1. Для N2-лазера получены импульсы излучения с длительностью на полувысоте 2.5 нс, средней мощностью 0.35 мВт и энергией 0.05 мДж.
Ключевые слова:продольный разряд возбуждения, азотные и эксимерные лазеры с УФ предыонизацией, УФ излучение.
PACS:42.55.Lt, 42.60.Lh
Поступила в редакцию: 18.12.2012 Исправленный вариант: 29.05.2013