Многослойные зеркала нормального падения на основе Sb/B4C для диапазона 80 Å < λ < 120 Å

Рассчитаны теоретически и затем впервые синтезированы периодические и апериодические многослойные структуры на основе пары Sb/B₄C для оптики мягкого рентгеновского диапазона 80 Å < λ < 120 Å. Спектры отражения периодических многослойных зеркал измерены с использованием синхротронного излучения и излучения, продуцируемого лазерной плазмой. Экспериментальные спектры проинтерпретированы с теоретической точки зрения, проведён учёт переходных слоёв и шероховатостей подложек. Предположительно плотность слоёв сурьмы ρ_Sb = 6.0 г/см³, а толщины переходных слоёв в многослойных структурах Sb/B₄C не превышают 10 Å. Экспериментально достигнут коэффициент отражения 19 % на длине волны λ = 85 Å. Апериодическое зеркало, оптимизированное на максимальное равномерное отражение в области 100 – 120 Å, испытано с использованием лазерно-плазменного источника излучения.