Аннотация:
Предложена методика исследования фазовой функции управляемых дифракционных оптических элементов, основанная на измерении пропускания межэлектродных зазоров. Разработано математическое описание методики, проведена экспериментальная апробация. Выполнен анализ влияния инструментальных погрешностей.