Аннотация:
Рассматриваются результаты создания и экспериментального исследования мощного эксимерного XeCl-лазера для промышленных применений. Компактность лазера достигнута путем использования лазерной камеры на основе керамической трубы из Al2O3. Большие (1.5–2.5 Дж) значения энергии генерации получены благодаря использованию широкоапертурного (до 55×30 мм) объемного разряда с предыонизацией скользящим разрядом. Предыонизация осуществляется через полупрозрачный электрод УФ излучением скользящего разряда в виде однородного плазменного листа на поверхности плоской сапфировой пластины. Ресурс использования газовой смеси составил ~57×106 импульсов при стабилизированной средней мощности лазерного излучения 450 Вт. Полученные результаты демонстрируют реальные перспективы создания нового класса эксимерных XeCl-лазеров со средней мощностью ~1 кВт.