Аннотация:
Представлены результаты создания и исследования электроразрядного KrF-лазера (248 нм) со средней мощностью излучения 300 Вт. Ряд новых конструктивных особенностей лазера обусловлен использованием лазерной камеры на основе керамической трубы из Al2O3. Большие значения мощности и частоты следования импульсов достигнуты за счет применения объемного разряда с боковой предыонизацией УФ излучением скользящего разряда в виде однородного плазменного листа на поверхности плоской сапфировой пластины. Исследованы различные генераторы для накачки лазера. Максимальная эффективность лазера составила 3.1%, максимальная энергия генерации – 160 мДж/имп., а длительность импульса на полувысоте – 7.5 нс. В долговременном режиме при частоте следования импульсов 4 кГц и выходной мощности 300 Вт высокая стабильность энергии излучения (σ≤0.7%) достигалась с использованием полностью твердотельной системы накачки.
Ключевые слова:эксимерный лазер, KrF, предыонизация, скользящий разряд, керамическая лазерная камера, С–С-схема, LC-инвертор, твердотельная система накачки, высокая частота следования.
PACS:42.55.Lt, 42.60.By, 42.60.Lh
Поступила в редакцию: 21.08.2014 Исправленный вариант: 30.10.2014