Аннотация:
Разработано деформируемое зеркало с размерами 410×468 мм, управляемое приводами на основе биморфных пластин и многослойных пьезопакетов. Представлены функции отклика отдельных приводов и измерения плоскостности поверхности деформируемого зеркала. Исследования зеркала с использованием интерферометра и датчика волнового фронта показали возможность точной юстировки поверхности до плоскостности лучше 0.033 мкм (СКО). Продемонстрирована возможность компенсации аберраций излучения сверхмощного лазера при помощи созданного биморфного зеркала.
Ключевые слова:деформируемое зеркало, актюатор, датчик волнового фронта, лазер на стекле с неодимом.
PACS:42.55.Rz, 42.15.Fr, 42.68.Wt
Поступила в редакцию: 29.10.2015 Исправленный вариант: 03.11.2015