М. С. Комленок, В. В. Кононенко, В. М. Гололобов, В. И. Конов, “О роли многофотонного поглощения света при импульсной лазерной наноабляции алмаза”, Квантовая электроника, 46:2 (2016), 125

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

О роли многофотонного поглощения света при импульсной лазерной наноабляции алмаза

М. С. Комленок^ab, В. В. Кононенко^ab, В. М. Гололобов^a, В. И. Конов^ab

^a Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, г. Москва
^b Московский инженерно-физический институт (Национальный исследовательский ядерный университет)

Аннотация: Измерены скорости многоимпульсной наноабляции поверхности алмаза в воздухе пико- и наносекундными лазерными импульсами. Использовалось излучение ArF и KrF эксимерных, второй гармоники Yb:YAG, а также Ti:Al₂O₃ лазеров. Установлено, что зависимость скорости травления материала от плотности энергии лазерных импульсов имеет степенной характер. Полученный показатель степени оказался в два раза ниже, чем известный ранее для фемтосекундных импульсов. Обсуждаются причины различных закономерностей наноабляции алмаза для "коротких" и "длинных" лазерных импульсов.

Ключевые слова: алмаз, лазерная наноабляция, многофотонное поглощение.

Поступила в редакцию: 20.10.2015