Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм

Рассматривается рентгенооптическая система, позволяющая получать изображения лазерного факела на длине волны 13.5 нм с разрешением до 70 нм. Рентгенооптическая система включает в себя рентгеновский объектив Шварцшильда, образованный двумя асферическими многослойными зеркалами, сцинтиллятор (YAG:Ce-керамика), преобразующий рентгеновское излучение в видимое, и оптическую систему, проецирующую изображение поверхности сцинтиллятора на CCD-камеру. Пространственное разрешение системы, ограниченное разрешением оптической системы (0.7 мкм) и увеличением (10^×) рентгеновского объектива, составляет 70 нм. Анализируется влияние формы зеркал объектива Шварцшильда на пространственное разрешение. Рассмотрен профиль асферизации вогнутого зеркала, обеспечивающий достижение дифракционного качества объектива. Приводятся данные по квантовой эффективности системы на длине волны 13.5 нм. Описывается экспериментальный стенд для изучения разработанной рентгенооптической системы и приводятся первые экспериментальные результаты, иллюстрирующие ее работоспособность. Благодаря естественному разделению на "рентгеновскую" и "видимую" части, конструкция обсуждаемой оптической системы позволяет легко перестраивать увеличение и поле зрения без перенастройки рентгенооптических элементов. Длина волны может быть изменена в диапазоне 3–40 нм путем замены многослойных зеркал.