Влияние структурных дефектов апериодических многослойных зеркал на свойства отраженных (суб)фемтосекундных импульсов

На примере модельного апериодического многослойного Mo/Si-зеркала, предназначенного для сжатия чирпированного импульса со спектром, лежащим в диапазоне энергий фотонов 50 – 80 эВ, численно изучено влияние структурных дефектов, таких как межслойная шероховатость, флуктуации толщин слоев и отличие плотности пленок Mo от табличной, на амплитуду и фазу комплексного коэффициента отражения, а также на амплитуду и длительность отраженного импульса. Показано, что наиболее сильно на амплитуду и длительность отраженного импульса влияют отличие плотностей пленок Мо от табличных значений и флуктуации толщин пленок. Межслоевая шероховатость оказывает сопоставимое воздействие на амплитуду коэффициента отражения, но при этом не столь сильно влияет на длительность отраженного импульса. Даже незначительные флуктуации толщин пленок могут привести к появлению дополнительных отраженных импульсов с высокой интенсивностью, задержанных по времени относительно основного. В широком диапазоне толщин пленок Mo в Mo/Si-зеркале показано, что плотность пленок при изменении их толщины от 1.5 до 5.5 нм изменяется от 0.77 до 0.97 (в долях от табличного значения для массивного молибдена). Обсуждаются ключевые проблемы, которые необходимо решить для развития технологии изготовления апериодических многослойных зеркал с требуемыми характеристиками.