В. В. Кононенко, Е. В. Бушуев, Е. В. Заведеев, П. В. Волков, А. Ю. Лукьянов, В. И. Конов, “Контроль лазерной микро- и нанообработки поверхности алмаза с помощью низкокогерентной интерферометрии”, Квантовая электроника, 47:11 (2017), 1012

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Лазерные технологии

Контроль лазерной микро- и нанообработки поверхности алмаза с помощью низкокогерентной интерферометрии

В. В. Кононенко^ab, Е. В. Бушуев^a, Е. В. Заведеев^ab, П. В. Волков^c, А. Ю. Лукьянов^c, В. И. Конов^ab

^a Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
^c Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Продемонстрирована возможность применения тандемной низкокогерентной оптической интерферометрии для контроля локальной лазерной обработки поверхности алмаза. Бесконтактное измерение оптической толщины пластин монокристаллического алмаза осуществлялось непосредственно в процессе воздействия на поверхность мощного импульсно-периодического лазерного излучения. Исследована динамика утоньшения монокристалла в двух принципиально различных режимах лазерного травления поверхности: абляционном (эксимерный KrF-лазер, λ = 248 нм, τ = 20 нс) и наноабляционном (Ti : сапфировый лазер, λ = 266 нм, τ = 100 фс).

Ключевые слова: алмаз, лазерная абляция, лазерная наноабляция, низкокогерентная интерферометрия.

Поступила в редакцию: 01.09.2017

*Дополнительные материалы:*
	pic_2.pdf	1.1 Mb
	pic_4.pdf	382.8 Kb