И. А. Артюков, А. С. Бусаров, А. В. Виноградов, Н. Л. Попов, “О лазерной отражательной рентгеновской микроскопии наклонных объектов”, Квантовая электроника, 48:7 (2018), 662

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

О лазерной отражательной рентгеновской микроскопии наклонных объектов

И. А. Артюков, А. С. Бусаров, А. В. Виноградов, Н. Л. Попов

Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва

Аннотация: Предложена оптическая схема рентгеновского микроскопа, работающего на отражении излучения от объекта при скользящих углах падения. Особое внимание уделено записи изображения с минимальными искажениями. С помощью численного моделирования выполнены оценки пространственного разрешения и поля зрения, проведено сравнение с результатами исследований поверхностно-модифицированных объектов отражательным лазерным рентгеновским микроскопом, работающим на длине волны 13.9 нм.

Ключевые слова: рентгеновская микроскопия, рентгеновские лазеры, когерентная оптика, наклонный объект, интеграл Френеля.

Поступила в редакцию: 28.01.2018
Исправленный вариант: 26.04.2018