Аннотация:
Разработана технология нанесения на алмазные подложки однослойного антиотражающего для излучения CO2-лазеров с λ = 10.6 мкм покрытия из PbF2. В качестве подложек использованы пластины из поликристаллического CVD алмаза. Коэффициент пропускания алмазных пластин с двухсторонним покрытием достигал 98.5% – 99%. Измеренная лучевая стойкость таких пластин в нормальных условиях окружающей среды для импульсного (τ ~100 нс) и непрерывного излучения CO2-лазеров составила 250 и 4 МВт/см2 соответственно. Эти значения сравнимы с порогами разрушения алмазных подложек. Обнаружено увеличение порога разрушения антиотражающего покрытия в непрерывном режиме воздействия до 5.5 МВт/см2 при предварительном многократном облучении образцов менее интенсивным лазерным излучением. Этот эффект может быть объяснен удалением с поверхности пленки частиц и слоя адсорбата без ее разрушения (эффект лазерной очистки).