Термоплазмонное лазерно-индуцированное жидкостное травление сапфира

Для микроструктурирования такого твердого и сложного в обработке материала как сапфир предлагается использовать технологию термоплазмонного лазерно-индуцированного жидкостного травления. В предлагаемой технологии поглощающей лазерное излучение средой служат наночастицы серебра, получающиеся из прекурсора (AgNO₃) и обеспечивающие значительное поглощение лазерного излучения благодаря наличию плазмонного поглощения с формированием существенно локализованной области с экстремально высокими температурами и давлениями. Такой подход позволяет обрабатывать сапфир как в "мягком" режиме с созданием структур в нанометровом диапазоне размеров, так и в "жестком" режиме, позволяющем формировать "глубокие" структуры со скоростями травления до нескольких микрометров за импульс и большим аспектным отношением. Показана возможность формирования в сапфире (в надпороговом режиме) периодических структур.