М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, С. Юлин, “Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры”, Квантовая электроника, 49:4 (2019), 380

Эта публикация цитируется в 10 статьях

Специальный выпуск 'Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом'

Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры

М. М. Барышева^a, С. А. Гарахин^a, С. Ю. Зуев^a, В. Н. Полковников^a, Н. Н. Салащенко^a, М. В. Свечников^a, Н. И. Чхало^a, С. Юлин^b

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Germany

Аннотация: Разработан дизайн и экспериментально изучены апериодические и стековые шикорокополосные Mo/Si-зеркала для задач проекта "Кортес", оптимизированные на равномерное отражение в диапазоне длин волн 17–21 нм. Показано, что стековые структуры при незначительном проигрыше в величине коэффициента отражения оказываются намного более предпочтительными с точки зрения изготовления и аттестации, что, в свою очередь, позволяет корректировать процесс напыления и за небольшое число итераций достигать расчетных параметров многослойного зеркала.

Ключевые слова: ЭУФ, широкополосные зеркала, апериодические структуры, блок-структуры, стековые структуры, магнетронное напыление, обратная задача.

Поступила в редакцию: 06.03.2019