VLS-спектрометр с плоским полем на область длин волн 50–275 Å

Рассчитан и реализован VLS-спектрограф с плоским полем на область длин волн 50–275 Å со средней линейной дисперсией 0.18 мм /Å, использующий сферическую VLS-решетку скользящего падения (спектрограф класса Харады). Для изготовления VLS-решетки методом интерференционной литографии разработан алгоритм расчета схемы записи со вспомогательным сферическим зеркалом-аберратором (решение обратной задачи интерференционной литографии). При испытании спектрографа зарегистрированы линейчатые спектры лазерной плазмы твердотельных мишеней фторида лития и тефлона, возбуждаемой сфокусированным пучком лазера (0.5 Дж, 8 нс, 1.06 мкм). Продемонстрирована разрешающая способность λ/σλ = 800 в районе длины волны 135 Å.