Б. Джонг, Б. Ли, Ч. Х. Ким, Ч. А. Чой, Ч. Янг, Е. Г. Салль, Ч. В. Ким, Д. Хо, Дж. Джанг, Г. Х. Ким, В. Е. Яшин, “Сверление в алмазе отверстий в виде песочных часов диаметром менее 100 мкм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 50:2 (2020), 201

Эта публикация цитируется в 15 статьях

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Сверление в алмазе отверстий в виде песочных часов диаметром менее 100 мкм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов

Б. Джонг^ab, Б. Ли^a, Ч. Х. Ким^c, Ч. А. Чой^c, Ч. Янг^a, Е. Г. Салль^a, Ч. В. Ким^a, Д. Хо^a, Дж. Джанг^bd, Г. Х. Ким^a, В. Е. Яшин^e

^a Electro-Medical Device Research Center, Korea Electrotechnology Research Institute, Republic of Korea
^b Department of Creative IT Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea
^c GK UP, Republic of Korea
^d School of Interdisciplinary Bioscience and Bioengineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea
^e АО "Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова", г. С.-Петербург

Аннотация: Представлены изображения микроотверстий в алмазе, полученных с помощью созданного нами фемтосекундного Yb : KGW-лазера. Использовался фемтосекундный лазерный источник с длительностью импульса излучения 230 фс на длине волны 1030 нм и размером пятна фокусировки 8.9 мкм. Проведена оценка влияния энергии и числа импульсов на геометрию микроотверстий (их диаметр, форму, угол конуса), а также на качество сверления. Продемонстрирована возможность сверления в образце алмаза отверстий в виде песочных часов, которые имеют одинаковые диаметры на входе (92 мкм) и на выходе (95 мкм) и гораздо меньший диаметр (28 мкм) суженной части внутри отверстия.

Ключевые слова: фемтосекундный лазер, лазер ультракоротких импульсов, лазерная микрообработка, лазерное сверление, алмаз.

Поступила в редакцию: 18.07.2019
Исправленный вариант: 14.10.2019