Сдвиговая спекл-интерферометрия с использованием метода фазовых шагов

Проведено численное моделирование процесса измерения напряженно-деформированных состояний методом сдвиговой спекл-интерферометрии с использованием метода фазовых шагов. Разработана компьютерная модель с возможностью задания ее деформации и шероховатости, в которую входит модель диффузно отражающего тест-объекта, соответствующая по характеристикам реальной мембране, а также модель спекл-интерферометра, позволяющая получать спекл-интерферограммы при различных размерах спеклов и углов между интерферирующими пучками. Реализован процесс восстановления топограммы поверхности объекта по модельным спекл-интерферограммам методом фазовых шагов. С помощью разработанных моделей получена двумерная шерограмма, представляющая собой производную от поля деформации круглой мембраны. Сопоставление результатов численного моделирования с экспериментальными данными показало, что различия (среднеквадратичные отклонения) не превышают 0.02 мкм. Также показано, что погрешность реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов значительно возрастает при деформациях тест-объекта более 12 мкм.