К. А. Подгаецкий, А. В. Лобинцов, А. И. Данилов, А. В. Иванов, М. А. Ладугин, А. А. Мармалюк, В. В. Дюделев, Д. А. Михайлов, Д. В. Чистяков, А. В. Бабичев, Г. М. Савченко, А. В. Лютецкий, С. О. Слипченко, Н. А. Пихтин, А. Г. Гладышев, И. И. Новиков, Л. Я. Карачинский, А. Ю. Егоров, Г. С. Соколовский, “Диэлектрические высокоотражающие зеркальные покрытия для квантовых каскадных лазеров с длиной волны излучения 4 – 5 мкм”, Квантовая электроника, 53:5 (2023), 370

Эта публикация цитируется в 1 статье

Лазеры

Диэлектрические высокоотражающие зеркальные покрытия для квантовых каскадных лазеров с длиной волны излучения 4 – 5 мкм

К. А. Подгаецкий^a, А. В. Лобинцов^a, А. И. Данилов^a, А. В. Иванов^a, М. А. Ладугин^a, А. А. Мармалюк^abc, В. В. Дюделев^d, Д. А. Михайлов^d, Д. В. Чистяков^d, А. В. Бабичев^e, Г. М. Савченко^d, А. В. Лютецкий^d, С. О. Слипченко^d, Н. А. Пихтин^d, А. Г. Гладышев^e, И. И. Новиков^f, Л. Я. Карачинский^f, А. Ю. Егоров^fg, Г. С. Соколовский^d

^a Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М. Ф. Стельмаха, г. Москва
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
^c Российский университет дружбы народов, г. Москва
^d Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^e ООО "Коннектор Оптикс", г. Санкт-Петербург
^f Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
^g Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Проведен расчет диэлектрических зеркал для квантовых каскадных лазеров среднего ИК диапазона. Подобраны оптимальные материалы диэлектриков для минимизации поглощения лазерного излучения. Изготовлены образцы излучающих в спектральном диапазоне 4 – 5 мкм квантовых каскадных лазеров с различными диэлектрическими высокоотражающими зеркальными покрытиями и исследованы их характеристики. Показано, что нанесение на заднюю грань резонатора высокоотражающего покрытия Si – Si₃N₄ привело к увеличению выходной оптической мощности исследуемых лазеров на 71% по сравнению с контрольными образцами без покрытий. Использование покрытия Si – SiO₂ позволило повысить выходную мощность излучателей на 88%.

Ключевые слова: квантовый каскадный лазер, высокоотражающие зеркала, выходная мощность, инфракрасный диапазон.

Поступила в редакцию: 01.03.2023