Рефлектометрия в мягком рентгеновском диапазоне с лазерно-плазменным источником излучения

Обсуждаются устройство и применение рефлектометров с дифракционной решеткой скользящего падения на область длин волн короче 300 Å. Основное внимание уделено рефлектометрам с лазерно-плазменным источником излучения, возбуждаемым импульсно-периодическим лазером с "умеренными" выходными параметрами (энергия в импульсе 0.1 – 1 Дж, длительность импульса 10 нс и менее). Приведенные сведения могут быть полезны при создании метрологических установок в мягком рентгеновском диапазоне спектра, как лабораторных, так и включенных в серийное производство интегральных микросхем методом проекционной рентгенолитографии.