RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 2001, том 31, номер 2, страницы 159–163 (Mi qe1909)

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Зондовые исследования эрозионного факела при абляции тантала в вакууме излучением эксимерного лазера с длиной волны 308 нм

О. А. Новодворскийa, Е. О. Филипповаa, О. Д. Храмоваa, А. К. Шевелевa, К. Венцельb, И. В. Бартаb

a Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, г. Шатуpа, Московская обл.
b Dresden University of Technology, Institute of Semiconductor and Microsystems Technology, Germany

Аннотация: При помощи зонда Ленгмюра исследовался эрозионный факел, образующийся при абляции мишени из тантала в вакууме излучением эксимерного лазера (λ = 308 нм). В режиме реального времени получены пространственная и временная зависимости электронного и ионного тока зонда. Впервые по сериям зависимостей электронных токов зонда от потенциала зонда измерена электронная температура различных участков факела на разных расстояниях от мишени. Установлены неоднородность электронной температуры факела и ее снижение в различных участках факела с увеличением времени разлета. Определена концентрация ионов в факеле на разных расстояниях от мишени.

PACS: 81.15.Fg, 79.20.Ds

Поступила в редакцию: 08.06.2000


 Англоязычная версия: Quantum Electronics, 2001, 31:2, 159–163

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024