Измерение малых искажений волнового фронта с помощью трехволнового интерферометра сдвига

Теоретически проанализировано решение параболического уравнения для излучения, дифрагирующего на периодической гексагональной структуре. Показано, что дифракция не препятствует проведению высокоточных измерений искажений волнового фронта при использовании трехволнового интерферометра сдвига. Предложена методика измерений, основанная на регистрации искажений интерференционной картины на произвольных расстояниях от репликатора излучения, и приведены результаты численных расчетов, подтверждающих эту методику. С высокой точностью измерено оптическое качество эталонной пластины в апертуре диаметром 12 см. На примере широкоапертурного кристалла KDP показано, что использование данного метода позволяет по результатам отдельных измерений синтезировать волновой фронт в апертуре, заметно превышающей апертуру тестирующего излучения.