В. И. Емельянов, К. И. Еремин, А. А. Сумбатов, “Дефектно-деформационная нанометровая самоорганизация при лазерной перекристаллизации тонких аморфных пленок на субстратах”, Квантовая электроника, 32:9 (2002), 753

Эта публикация цитируется в 1 статье

Письма

Дефектно-деформационная нанометровая самоорганизация при лазерной перекристаллизации тонких аморфных пленок на субстратах

В. И. Емельянов^a, К. И. Еремин^a, А. А. Сумбатов^b

^a Международный учебно-научный лазерный центр МГУ им. М. В. Ломоносова
^b Научно-исследовательский институт Л. Я. Карпова, г. Москва

Аннотация: Экспериментально обнаружен скрытый гексагональный порядок в расположении нанометровых кристаллических зерен, образующихся при лазерной перекристаллизации тонких пленок аморфного кремния на субстрате. Гексагональное упорядочение зерен, а также экстремальная зависимость размера зерна от плотности энергии лазерного импульса описываются в рамках кооперативного дефектно-деформационного механизма лазерной перекристаллизации.

PACS: 43.35.N, 61.43.-j, 61.72.Cc, 81.16.Rf, 81.65.Cf

Поступила в редакцию: 24.05.2002