Оптимизация решеточного узла ввода–вывода излучения из тонкопленочного волновода, сформированного на кремниевой подложке

Проведены анализ работы и оптимизация параметров решеточного устройства ввода – вывода излучения из тонкопленочного волновода, сформированного на кремниевой подложке. Установлено, что отражение света на границе раздела буферный слой – кремний приводит к существенным изменениям работы решеточного устройства связи. Получены условия максимального вывода света в воздух (или в подложку) как для ТЕ-, так и для ТМ-мод тонкопленочного волновода.