Интенсивный источник ВУФ излучения на основе плазмы капиллярного разряда

Приведены результаты исследований плазмы капиллярного разряда, используемой в качестве интенсивного источника ВУФ и мягкого рентгеновского излучения. Плазма создавалась при разряде малоиндуктивных конденсаторов в газонаполненном керамическом капилляре. При использовании разных рабочих газов (CO₂, Ne, Ar, Kr, Xe) наблюдалось интенсивное линейчатое излучение в широком спектральном диапазоне (30–400 Å). Абсолютный выход излучения ксенонового разряда составил ~5 мДж·(2π ср)^-1·имп.^-1 в пределах спектральной полосы шириной 9 Å в области 135 Å. Такой источник излучения может использоваться в различных практических приложениях: проекционной ВУФ литографии, микроскопии биологических объектов в "водяном окне", рефлектометрии и др.