Аннотация:
Предложена и экспериментально реализована методика безвакуумного осаждения тонких пленок из лазерно-индуцированной плазмы, возникающей при абляции мишени высокоинтенсивным лазерным излучением. Представлены результаты экспериментов по напылению твердых углеродных покрытий на подложку из нержавеющей стали при испарении графитовой мишени в воздухе пикосекундными импульсами Nd:YAP-лазера. Согласно данным рентгеноэлектронной спектроскопии и рентгеноструктурного анализа полученные в эксперименте пленки состоят из sp2- и sp3-связанного аморфного углерода с небольшой примесью кислорода. Установленные при тестировании механических свойств покрытия высокие результаты, включая нанотвердость (в среднем, 12–14 ГПа, локально – до 40 ГПа) и адгезию к подложке (> 60 МПа), указывают на несомненную перспективность данной методики.