RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 2003, том 33, номер 3, страницы 189–191 (Mi qe2384)

Эта публикация цитируется в 14 статьях

Письма

Импульсное лазерное напыление твердого углеродного покрытия при атмосферном давлении

Т. В. Кононенкоa, В. И. Коновa, Е. Н. Лубнинb, Ф. Даусингерc

a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва
b Институт физической химии РАН, г. Москва
c Institut für Strahlwerkzeuge, Deutschland

Аннотация: Предложена и экспериментально реализована методика безвакуумного осаждения тонких пленок из лазерно-индуцированной плазмы, возникающей при абляции мишени высокоинтенсивным лазерным излучением. Представлены результаты экспериментов по напылению твердых углеродных покрытий на подложку из нержавеющей стали при испарении графитовой мишени в воздухе пикосекундными импульсами Nd:YAP-лазера. Согласно данным рентгеноэлектронной спектроскопии и рентгеноструктурного анализа полученные в эксперименте пленки состоят из sp2- и sp3-связанного аморфного углерода с небольшой примесью кислорода. Установленные при тестировании механических свойств покрытия высокие результаты, включая нанотвердость (в среднем, 12–14 ГПа, локально – до 40 ГПа) и адгезию к подложке (> 60 МПа), указывают на несомненную перспективность данной методики.

PACS: 42.62.Cf, 81.15.Fg, 81.05.Uw

Поступила в редакцию: 22.01.2003


 Англоязычная версия: Quantum Electronics, 2003, 33:3, 189–191

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024