Эксимерный лазер с высокой когерентностью

Проведен цикл экспериментальных исследований, направленных на оптимизацию неустойчивого резонатора электроразрядного ArF-лазера. Предложен и исследован ряд оптических схем неустойчивого резонатора для одномодульного лазера. Показано, что лазер, созданный на основе рассмотренных схем, обладает высокой когерентностью (длина пространственной когерентности 1–10 мм, длина временной когерентности 0.5–30 мм при энергии импульса 40–290 мДж).