Оптические интегральные схемы на основе кремния для терабитных сетей связи

Приведен краткий обзор состояния разработок оптических интегральных схем, изготавливаемых на основе кремниевой технологии, которые предназначены для использования в качестве компонентов современных полностью оптических систем связи с пропускной способностью порядка 1 Тбит/с. Описаны конструкции и технологии изготовления этих схем, а также рассмотрены проблемы, связанные с их разработкой и применением в спектрально-мультиплексированных системах оптической связи.