Аннотация:
Исследовано влияние параметров накачки на эффективность работы газоразрядного эксимерного KrF-лазера на смеси He–Kr–F2. Разработана теоретическая модель системы возбуждения и кинетических процессов в плазме такого лазера. Создана система накачки на основе LC-инвертора с искровым разрядником в качестве высоковольтного коммутатора, автоматической УФ предыонизацией и низкоиндуктивным разрядным контуром. Для увеличения КПД и энергии излучения KrF-лазера на смеси He–Kr–F2 предложено увеличить интенсивность накачки до 4 МВт/см3 путем увеличения индуктивности между LC-инвертором и разрядным контуром до 100 нГн. Впервые в KrF-лазере на смеси He–Kr–F2 получена энергия генерации 1 Дж с КПД 2%.
PACS:42.55.Lt, 42.60.Lh
Поступила в редакцию: 25.03.2004 Исправленный вариант: 30.06.2004