В. В. Кононенко, В. И. Конов, С. М. Пименов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. В. Иванов, М. А. Новиков, В. А. Маркелов, А. Д. Тертышник, С. С. Уставщиков, “Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии”, Квантовая электроника, 35:7 (2005), 622

Эта публикация цитируется в 9 статьях

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии

В. В. Кононенко^a, В. И. Конов^a, С. М. Пименов^a, П. В. Волков^b, А. В. Горюнов^b, В. В. Иванов^b, М. А. Новиков^b, В. А. Маркелов^b, А. Д. Тертышник^b, С. С. Уставщиков^b

^a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва
^b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Продемонстрирована возможность применения низкокогерентной волоконно-оптической интерферометрии для локального бесконтактного измерения оптической толщины пластин поликристаллического алмаза в процессе воздействия на его поверхность мощного импульсно-периодического лазерного излучения. Создана экспериментальная автоматизированная система, обеспечивающая контроль толщины образцов в процессе абляции их поверхности сканирующим пучком эксимерного KrF-лазера (λ = 248 нм). Показано, что данный метод может быть использован для online контроля лазерной шлифовки и изготовления плоскопараллельных пластин.

PACS: 52.38.Mf, 81.05.Uv

Поступила в редакцию: 30.09.2004
Исправленный вариант: 27.05.2005