Г. А. Шафеев, С. М. Пименов, Е. Н. Лубнин, А. А. Смолин, В. И. Конов, В. А. Лаптев, “Селективная металлизация алмазов с помощью лазерного излучения”, Квантовая электроника, 22:2 (1995), 140

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Селективная металлизация алмазов с помощью лазерного излучения

Г. А. Шафеев, С. М. Пименов, Е. Н. Лубнин, А. А. Смолин, В. И. Конов, В. А. Лаптев

Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва

Аннотация: Экспериментально исследована лазерная активация алмазной поверхности (монокристаллы и поликристаллические алмазные пленки) для каталитического осаждения металлов из растворов. Активирование осуществлено с помощью лазера на парах меди либо эксимерного KrF-лазера двумя путями: разложением тонкой пленки ацетил-ацетоната палладия и локальной лазерно-стимулированной модификацией алмазной поверхности при лазерном испарении. Реализован омический контакт (Cu и Ni) с адгезией 3 Н/мм², пространственное разрешение составляет 10 мкм.

PACS: 42.62.Cf, 81.15.Fg, 81.15.Ij

Поступила в редакцию: 31.12.1995