И. А. Артюков, Л. Л. Балакирева, Ф. Бийкерк, А. В. Виноградов, Н. Н. Зорев, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, О. Ф. Огурцов, А. Г. Пономаренко, А. И. Федоренко, “Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников”, Квантовая электроника, 19:2 (1992), 114

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Обзор

Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников

И. А. Артюков^a, Л. Л. Балакирева^a, Ф. Бийкерк^b, А. В. Виноградов^a, Н. Н. Зорев^a, И. В. Кожевников^a, В. В. Кондратенко^c, О. Ф. Огурцов^d, А. Г. Пономаренко^c, А. И. Федоренко^c

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
^b ФОМ-институт, Нидерланды
^c Харьковский политехнический институт им. В. И. Ленина
^d Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград

Аннотация: Рассмотрено современное состояние рентгеновской литографии и рентгеновской оптики, принципы построения и схемы проекционных рентгенолитографических систем. Проанализированы основные направления исследований, ведущихся в этой области в лабораториях СССР, США, Японии и Великобритании. Указаны проблемы, возникающие при разработке многослойных рентгеновских зеркал нормального падения.

УДК: 778.33:776

PACS: 41.50.+h, 42.82.Cr, 42.79.Bh

Поступила в редакцию: 20.06.1991