А. П. Большаков, В. Г. Востриков, В. Ю. Дубровский, В. И. Конов, Ф. К. Косырев, В. Г. Наумов, В. Г. Ральченко, “Лазерный плазмотрон для бескамерного осаждения алмазных пленок”, Квантовая электроника, 35:4 (2005), 385

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Лазерный плазмотрон для бескамерного осаждения алмазных пленок

А. П. Большаков^a, В. Г. Востриков^b, В. Ю. Дубровский^b, В. И. Конов^a, Ф. К. Косырев^b, В. Г. Наумов^b, В. Г. Ральченко^a

^a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва
^b ФГУП «ГНЦ РФ – Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований»

Аннотация: Разработан лазерно-плазменный метод синтеза алмаза на воздухе, без использования вакуумных или реакционных камер. Представлена конструкция лазерного плазмотрона на базе непрерывного СО₂-лазера с мощностью излучения до 3 кВт, позволившая осуществить синтез алмазных пленок на подложках, размеры которых в 3–4 раза превышают поперечные размеры плазменной струи. Рассмотрены различные режимы работы плазмотрона при сканировании подложки относительно лазерной плазмы. Обсуждаются возможные направления дальнейших исследований синтеза алмаза из лазерной плазмы на большой площади.

PACS: 52.50.Jm, 52.77.Dq, 81.15.-z

Поступила в редакцию: 28.12.2004