Аннотация:
Разработан метод непосредственного восстановления оптического фазового профиля поверхности по измерениям
дифференциальным фазовым оптическим микроскопом (ДФОМ). Исследовано влияние параметров
схемы ДФОМ и уровня экспериментальной погрешности на точность восстановления и разрешения ДФОМ в
плоскости объекта. Проведено восстановление профилей показателя преломления ионно-обменных канальных
волноводов в стекле и поверхности Y-разветвителя, изготовленного путем диффузии титана в ниобат лития,
по результатам измерения ДФОМ; при этом достигнуто разрешение в плоскости объекта 0,5 мкм.