RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 4, страницы 379–384 (Mi qe3448)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Оптическая обработка информации. Волноводы

Определение профиля поверхностных структур с помощью дифференциального фазового оптического микроскопа

Е. А. Божевольная, С. И. Божевольный, Е. М. Золотов, А. В. Постников, П. С. Радько

Институт микроэлектроники АН СССР, Ярославль

Аннотация: Разработан метод непосредственного восстановления оптического фазового профиля поверхности по измерениям дифференциальным фазовым оптическим микроскопом (ДФОМ). Исследовано влияние параметров схемы ДФОМ и уровня экспериментальной погрешности на точность восстановления и разрешения ДФОМ в плоскости объекта. Проведено восстановление профилей показателя преломления ионно-обменных канальных волноводов в стекле и поверхности Y-разветвителя, изготовленного путем диффузии титана в ниобат лития, по результатам измерения ДФОМ; при этом достигнуто разрешение в плоскости объекта 0,5 мкм.

УДК: 621.372.8.029.7

PACS: 42.82.Bq, 42.82.Et, 07.60.Pb, 42.70.Ce

Поступила в редакцию: 13.06.1991


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1992, 22:4, 344–348

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024