Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам,
Троицк Моск. обл.
Аннотация:
Методом локальной интерферометрии с пространственным разрешением ~ 5 мкм исследована динамика развития
мелкомасштабных деформаций и периодического рельефа поверхности кремния в зоне облучения лазерным
импульсом. Показано, что на начальном этапе облучения изменения рельефа поверхности имеют случайный
характер. Формирование упорядоченных поверхностных колебаний (поверхностной волны) происходит
в расплавленной фазе. Зарегистрированный начальный период поверхностной волны составлял ~20 мкс и возрастал после окончания лазерного импульса. Полное затухание (т. е. запись периодического
рельефа) в условиях вышеописанного эксперимента наблюдалось через ~ 5 мс после окончания действия
лазерного импульса.