Воспроизводимость импеданса (InGа)РАs-лазерных диодов с мезаструктурой, зарощенной полуизолирующими слоями

Экспериментально исследована воспроизводимость на СВЧ импеданса (InGа)РАs-гетеролазера с зарощенной полуизолирующими слоями мезаструктурой. Разработана СВЧ плата для калибровки измерителей s-параметров четырехполюсников при измерении импеданса лазерных диодов и проведены панорамные измерения активной и реактивной составляющих импеданса десяти лазерных диодов одной структуры, изготовленных из трех различных пластин. Полученные результаты свидетельствуют о достаточно хорошей воспроизводимости импеданса лазерных диодов данного типа в диапазоне 6,05–5,0 ГГц.