В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, С. М. Герасимов, Е. В. Евстратов, Ю. Б. Кирюхин, С. Г. Кузнецов, Ю. Ю. Степанов, В. А. Визирь, В. И. Манылов, С. П. Носенко, С. П. Сычев, В. В. Червяков, Н. Г. Шубкин, “Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений”, Квантовая электроника, 18:2 (1991), 183

Эта публикация цитируется в 1 статье

Лазеры

Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений

В. М. Борисов^ab, А. Ю. Виноходов^ab, С. М. Герасимов^ab, Е. В. Евстратов^ab, Ю. Б. Кирюхин^ab, С. Г. Кузнецов^ab, Ю. Ю. Степанов^ab, В. А. Визирь^ab, В. И. Манылов^ab, С. П. Носенко^ab, С. П. Сычев^ab, В. В. Червяков^ab, Н. Г. Шубкин^ab

^a Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова, Москва
^b Институт сильноточной электроники СО АН СССР, Томск

Аннотация: Приведены результаты по созданию мощного эксимерного лазера, способного генерировать излучение λ = 308 нм со средней мощностью ~600 Вт. Система питания лазера сконструирована на базе четырех коммерческих тиратронов и магнитного ключа. В качестве примера использования такого лазера приводятся результаты по созданию структуры отверстий в полиимиде, нанесенном на алюминий. Такая бинарная пленка является гибким носителем, используемым для монтажа больших интегральных схем.

УДК: 621.373.826.038.823

PACS: 42.55.Lt, 42.62.Cf, 42.60.By, 42.79.Ag, 42.60.Jf

Поступила в редакцию: 02.10.1990